辽宁研生科技有限公司

辽宁研生科技有限公司是压电纳米定位超精密位移台的专业制造商。

压电纳米定位 压电扫描台 压电偏摆台 -研生专业制造商三维纳米级精密扫描台║P62系列

P62是采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级精密扫描台，扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。

典型应用：快速反射镜系统(FSM)作为发射光源与接收端之间控制光束传播方向的精密光学仪器，集光、机、电技术于一身，内置的精密压电扫描台作为核心部件发挥着重要的作用，凭借其高精度、高分辨率、快速响应等优点，已被广泛应用于天文望远镜、激光通讯、自适应光学、复合轴精密跟踪等领域。

压电纳米定位 压电扫描台 压电偏摆台 -研生专业制造商三维纳米级精密扫描台║P62系列

产品特点：

◆ 超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；

◆ 采用无摩擦、无回差柔性铰链并联导向系统，具有超高的导向精度；

◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

压电纳米定位 压电扫描台 压电偏摆台 -研生专业制造商三维纳米级精密扫描台║P62系列

产品应用：

扫描显微镜　┃　激光技术　┃　微加工　┃　存储设备的测试　┃　掩膜/晶圆定位　┃　纳米定位　┃　光刻　┃　干涉　┃　度量衡学

配套控制器模块化模块化║E5系列

了解更多请访问研生科技官网：www.piezoxyz.com咨询电话：0412-2501710

辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等几十个系列产品。

研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，主要技术指标已达到国际先进水平，可完美地替代进口产品。

研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、超精密加工、先进自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、医疗设备、特种精密加工等的高精密装备制造商。